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行業(yè)動(dòng)態(tài) 行業(yè)動(dòng)態(tài)

行業(yè)動(dòng)態(tài)

專注于半導(dǎo)體電性能測(cè)試

國產(chǎn)數(shù)字源表(SMU)和探針臺(tái)測(cè)試應(yīng)用案例

來源：admin 時(shí)間：2024-03-06 13:16 瀏覽量：1151

1、MPD晶圓測(cè)試

測(cè)試設(shè)備：脈沖源表P300+探針臺(tái)

異常現(xiàn)象：測(cè)試中存在一個(gè)3nA左右的漏電流

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圖：異常測(cè)試曲線圖

異常原因：測(cè)試現(xiàn)場(chǎng)的連接線屏蔽層接地不達(dá)標(biāo)，外界電磁環(huán)境的作用下使設(shè)備對(duì)大地的電位發(fā)生變化，造成設(shè)備工作不穩(wěn)定

優(yōu)化措施：將屏蔽層接地

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圖：優(yōu)化后測(cè)試曲線圖


2、三極管測(cè)試

測(cè)試設(shè)備：2臺(tái)直流源表S300+探針臺(tái)

異常現(xiàn)象：源表輸出0-3V的電壓掃描，當(dāng)輸出的電壓小于0.5V時(shí)，源表回讀的電壓值為-0.5V

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圖：異常測(cè)試結(jié)果

異常原因：探針臺(tái)沒有接地，探針臺(tái)結(jié)構(gòu)上存在金屬，在帶電的環(huán)境下會(huì)存在靜電，從而對(duì)測(cè)試結(jié)果帶來影響

優(yōu)化措施：將探針臺(tái)通過導(dǎo)線接入大地

圖片
圖：優(yōu)化后測(cè)試結(jié)果

3、芯片測(cè)試

測(cè)試設(shè)備：直流源表S300+探針臺(tái)

異?，F(xiàn)象：源表未輸出，探針冒火花

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圖：異常測(cè)試-探針冒火花

異常原因：三同軸線纜GUARD信號(hào)懸空。GUARD信號(hào)如連接正確，其電勢(shì)與信號(hào)層基本一致，所以漏電很小，從而對(duì)信號(hào)起到了一定的保護(hù)作用；但是GUARD信號(hào)懸空，其與信號(hào)層的電勢(shì)差較大，這樣漏電較大，對(duì)信號(hào)的影響很大

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優(yōu)化措施：將GUARD信號(hào)接入源表，使GUARD信號(hào)起到保護(hù)作用

4、PD測(cè)試

測(cè)試設(shè)備：直流源表S300+探針臺(tái)

異常現(xiàn)象：源表在100nA的量程下，輸出-2V電壓，實(shí)際顯示-2.69V

圖片

圖：異常測(cè)試結(jié)果

異常原因：客戶使用的同軸線接觸不良，探針臺(tái)沒有接地

優(yōu)化措施：更換新的同軸線，將探針臺(tái)通過導(dǎo)線接入大地


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圖：優(yōu)化后測(cè)試結(jié)果

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