半導(dǎo)體分立器件是指以半導(dǎo)體材料為基礎(chǔ)的單一元件,包括各種半導(dǎo)體材料制成的二極管、三極管、場(chǎng)效應(yīng)管、可控硅等,具有整流、放大、開(kāi)關(guān)、檢波,穩(wěn)壓、信號(hào)調(diào)制等多種功能,衡量晶體管性能好壞主要是通過(guò)I-V測(cè)試或C-V測(cè)試來(lái)提取晶體管的基本特性參數(shù),并在整個(gè)工藝結(jié)束后評(píng)估器件的優(yōu)劣。
半導(dǎo)體分立器件特性參數(shù)測(cè)試是對(duì)待測(cè)器件(DUT)施加電壓或電流,然后測(cè)試其對(duì)激勵(lì)做出的響應(yīng);通常半導(dǎo)體分立器件特性參數(shù)測(cè)試需要幾臺(tái)儀器完成,如數(shù)字表、電壓源、電流源等。然而由數(shù)臺(tái)儀器組成的系統(tǒng)需要分別進(jìn)行編程、同步、連接、測(cè)量和分析,過(guò)程既復(fù)雜又耗時(shí),還占用過(guò)多測(cè)試臺(tái)的空間。而且使用單一功能的測(cè)試儀器和激勵(lì)源還存在復(fù)雜的相互間觸發(fā)操作,有更大的不確定度及更慢的總線傳輸速度等缺點(diǎn)。
工藝設(shè)計(jì)/材料評(píng)估/產(chǎn)品建模
可靠性分析
PCM/TEG測(cè)試
WAT/KGD/參數(shù)測(cè)試
器件功能測(cè)試
確定器件故障原因
實(shí)施特性參數(shù)分析的最佳工具之一是數(shù)字源表(SMU)。普賽斯歷時(shí)多年打造了高精度、大動(dòng)態(tài)范圍、率先國(guó)產(chǎn)化的源表系列產(chǎn)品,集電壓、電流的輸入輸出及測(cè)量等功能于一體??勺鳛楠?dú)立的恒壓源或恒流源、伏特計(jì)、安培計(jì)和歐姆表,還可用作精密電子負(fù)載。其高性能架構(gòu)還允許將其用作脈沖發(fā)生器,波形發(fā)生器和自動(dòng)電流-電壓(I-V)特性分析系統(tǒng),支持四象限工作。