半導(dǎo)體分立器件是指以半導(dǎo)體材料為基礎(chǔ)的單一元件,包括各種半導(dǎo)體材料制成的二極管、三極管、場效應(yīng)管、可控硅等,具有整流、放大、開關(guān)、檢波,穩(wěn)壓、信號調(diào)制等多種功能,衡量晶體管性能好壞主要是通過I-V測試或C-V測試來提取晶體管的基本特性參數(shù),并在整個工藝結(jié)束后評估器件的優(yōu)劣。
半導(dǎo)體分立器件特性參數(shù)測試是對待測器件(DUT)施加電壓或電流,然后測試其對激勵做出的響應(yīng);通常半導(dǎo)體分立器件特性參數(shù)測試需要幾臺儀器完成,如數(shù)字表、電壓源、電流源等。然而由數(shù)臺儀器組成的系統(tǒng)需要分別進行編程、同步、連接、測量和分析,過程既復(fù)雜又耗時,還占用過多測試臺的空間。而且使用單一功能的測試儀器和激勵源還存在復(fù)雜的相互間觸發(fā)操作,有更大的不確定度及更慢的總線傳輸速度等缺點。
工藝設(shè)計/材料評估/產(chǎn)品建模
可靠性分析
PCM/TEG測試
WAT/KGD/參數(shù)測試
器件功能測試
確定器件故障原因
實施特性參數(shù)分析的最佳工具之一是數(shù)字源表(SMU)。普賽斯歷時多年打造了高精度、大動態(tài)范圍、率先國產(chǎn)化的源表系列產(chǎn)品,集電壓、電流的輸入輸出及測量等功能于一體??勺鳛楠毩⒌暮銐涸椿蚝懔髟?、伏特計、安培計和歐姆表,還可用作精密電子負載。其高性能架構(gòu)還允許將其用作脈沖發(fā)生器,波形發(fā)生器和自動電流-電壓(I-V)特性分析系統(tǒng),支持四象限工作。