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SPA6100半導(dǎo)體參數(shù)分析儀具有高精度、寬測量范圍、 快速靈活、兼容性強(qiáng)等優(yōu)勢,產(chǎn)品可以同時支持DC電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)以及高流高壓下脈沖式I-V特性的測試。
基于模塊化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可以幫助用戶根據(jù)測試需要,靈活選配測量單元進(jìn)行升級。產(chǎn)品支持最高1200V電壓、100A大電流、1pA小電流分辨率的測量,同時檢測10kHz至1MHz范圍內(nèi)的多頻AC電容測量。
搭載專用半導(dǎo)體參數(shù)測試軟件,支持交互式手動操作或結(jié)合探針臺的自動操作,能夠從測量設(shè)置、執(zhí)行、結(jié)果分析到數(shù)據(jù)管理的整個過程,實(shí)現(xiàn)高效和可重復(fù)的器件表征;也可與高低溫箱、溫控模塊等搭配使用,滿足高低溫測試需求。
● 30μV-1200V,1pA-100A 寬量程測試能力
● 測量精度高,全量程下可達(dá)0.03%
● 內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)器件測試程序,直接調(diào)用測試簡便
● 自動實(shí)時參數(shù)提取、 數(shù)據(jù)繪圖、分析函數(shù)
● 在CV和IV測量之間快速切換而無需重新布線
● 提供靈活的夾具定制方案,兼容性強(qiáng)
● 免費(fèi)提供上位機(jī)軟件及SCPI指令集
應(yīng)用場景及測試參數(shù)
1、納米材料:電阻率、載流子遷移率、載流子濃度、霍爾電壓
2、柔性材料:拉伸/扭轉(zhuǎn)/彎折、V-t、I-t、R-t、電阻率、靈敏度
3、IC芯片:O/S、IIH/IIL、VOH/VOL、I/O Pin IV曲線
4、分立器件:BVDSS/IGSS/IDSS/Vgs(th)/Rdson、Ciss/Coss/Crss、輸出/轉(zhuǎn)移/CV曲線等
5、光電探測器:暗電流ID、結(jié)電容Ct、反向擊穿電壓VBR、響應(yīng)度R
6、鈣鈦礦電池:VOC、ISC、Pmax、Vmax、Imax、FF、η、Rs、Rsh
7、LD/LED/OLED:Iop、Popt、VF、Ith、VR、IR、LIV/IVL曲線
8、傳感器/憶阻器:V-t、I-t、R-t、直流/脈沖/交流IV測試
特色優(yōu)勢
1、模塊化配置:可靈活配置多種測量單元,預(yù)留升級空間,方便后期升級
2、圖形化界面:內(nèi)置常用器件模板,可直接調(diào)用,并且支持輸出三種模式測試報告
3、自動化測試:內(nèi)嵌低漏電矩陣開關(guān),可自動切換測試電路,實(shí)現(xiàn)一鍵測試功能
4、夾具可定制:支持二極管、三極管、Si及SiC MOS管、IGBT等器件
5、多設(shè)備聯(lián)動:可與探針臺、溫控模塊等搭配使用,溫控范圍:室溫~250℃
加快半導(dǎo)體材料、芯片器件設(shè)計(jì)以及先進(jìn)工藝的開發(fā)驗(yàn)證
1、支持直流、脈沖I-V測試
2、內(nèi)置專業(yè)矩陣開關(guān),提高測試效率
3、可與多種設(shè)備聯(lián)動使用:晶圓級芯片性能測試需要與探針臺聯(lián)動,可靠性評估會涉及常溫以及高低溫等條件
4、三同軸線纜提升小電流測試精度
圖形化軟件界面
配合普賽斯自主開發(fā)的專業(yè)測試軟件,SPA6100可輕松實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體材料,器件的參數(shù)測試。系統(tǒng)內(nèi)置常用器件模板,如二極管, 三極管,MOSFET。測試過程中,可直接調(diào)用,只需簡單設(shè)置測試參數(shù)即可。軟件支持測試數(shù)據(jù)顯示,以及曲線繪制。測試完畢 后,可將數(shù)據(jù)以及曲線導(dǎo)出保存。
靈活可定制化的夾具方案
針對市面上不同封裝類型的半導(dǎo)體器件產(chǎn)品,普賽斯提供整套夾具解決方案。夾具具有低阻抗、安裝簡單、種類豐富等特點(diǎn),可 用于二極管、三極管、場效應(yīng)晶體管、IGBT、SiC MOS、GaN等單管,模組類產(chǎn)品的測試;也可與探針臺連接,實(shí)現(xiàn)晶圓級芯片 測試。
不同封裝類型的夾具
低壓直流I-V源測量單元
型號 | 精度 | 最大電壓量程 | 最小電壓量程 | 最小電壓分辨率 | 最大電流量程 | 最小電流量程 | 最小電流分辨率 |
---|---|---|---|---|---|---|---|
SPA-S100 | 0.1% | 30V | 300mV | 30μV | 1A | 100nA | 10pA |
SPA-S200 | 0.1% | 100V | 300mV | 30μV | 1A | 100nA | 10pA |
SPA-S300 | 0.1% | 300V | 300mV | 30μV | 1A | 100nA | 10pA |
SPA-S100B | 0.03% | 30V | 300mV | 30μV | 3A | 100nA | 10pA |
SPA-S200B | 0.03% | 100V | 300mV | 30μV | 3A | 100nA | 10pA |
SPA-S300B | 0.03% | 300V | 300mV | 30μV | 3A | 100nA | 10pA |
低壓脈沖I-V源測量單元
型號 | 精度 | 最大電壓量程 | 最小電壓量程 | 最小電壓分辨率 | 最大電流量程 | 最小電流量程 | 最小電流分辨率 | 最小脈沖寬度 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
SPA-P100 | 0.1% | 30V | 300mV | 30μV | 1A(直流)/10A(脈沖) | 100nA | 10pA | 200μs |
SPA-P200 | 0.1% | 100V | 300mV | 30μV | 1A(直流)/10A(脈沖) | 100nA | 10pA | 200μs |
SPA-P300 | 0.1% | 300V | 300mV | 30μV | 1A(直流)/10A(脈沖) | 100nA | 10pA | 200μs |
高壓I-V源測量單元
型號 | 精度 | 最大電壓量程 | 最小電壓量程 | 最小電壓分辨率 | 最大電流量程 | 最小電流量程 | 最小電流分辨率 |
---|---|---|---|---|---|---|---|
SPA-E100 | 0.1% | 1200V | 100V | 10mV | 100mA | 1μA | 100pA |
高流I-V源測量單元
型號 | 精度 | 最大電壓量程 | 最小電壓量程 | 最小電壓分辨率 | 最大電流量程 | 最小電流量程 | 最小電流分辨率 | 最小脈沖寬度 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
SPA-HCP100 | 0.1% | 50V | 300mV | 30μV | 30A(直流)/30A(脈沖) | 100nA | 10pA | 80μs |
SPA-HCP200 | 0.1% | 50V | 300mV | 30μV | 30A(直流)/30A(脈沖) | 100nA | 10pA | 80μs |
SPA-HCP300 | 0.1% | 100V | 300mV | 30μV | 30A(直流)/100A(脈沖) | 100nA | 10pA | 80μs |
電容測量單元
型號 | 測試頻率 | 測試點(diǎn)數(shù) | 頻率分辨率 | 頻率輸出精度 | 基本精度 | 內(nèi)部直流偏置信號 | 可測參數(shù)與量程 |
---|---|---|---|---|---|---|---|
SPA-C100 | 10Hz-1MHz | 可編程 | 5 位 | ±0.1% | ±0.5% | 10mV to 2V (1mV 分辨率) / 100uA-20mA | |Z| , R, X 0.001mΩ-99.999MΩ |Y| , G, B 0.1nS-99.999S Cs Cp 0.01pF-9.9999F |
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