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SPA6100半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

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        SPA6100半導(dǎo)體參數(shù)分析儀具有高精度、寬測(cè)量范圍、 快速靈活、兼容性強(qiáng)等優(yōu)勢(shì),產(chǎn)品可以同時(shí)支持DC電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)以及高流高壓下脈沖式I-V特性的測(cè)試。

        基于模塊化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可以幫助用戶根據(jù)測(cè)試需要,靈活選配測(cè)量單元進(jìn)行升級(jí)。產(chǎn)品支持最高1200V電壓、100A大電流、1pA小電流分辨率的測(cè)量,同時(shí)檢測(cè)10kHz至1MHz范圍內(nèi)的多頻AC電容測(cè)量。

        搭載專用半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試軟件,支持交互式手動(dòng)操作或結(jié)合探針臺(tái)的自動(dòng)操作,能夠從測(cè)量設(shè)置、執(zhí)行、結(jié)果分析到數(shù)據(jù)管理的整個(gè)過程,實(shí)現(xiàn)高效和可重復(fù)的器件表征;也可與高低溫箱、溫控模塊等搭配使用,滿足高低溫測(cè)試需求。

產(chǎn)品特點(diǎn)

●    30μV-1200V,1pA-100A 寬量程測(cè)試能力

●     測(cè)量精度高,全量程下可達(dá)0.03%

●     內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)器件測(cè)試程序,直接調(diào)用測(cè)試簡(jiǎn)便 

●     自動(dòng)實(shí)時(shí)參數(shù)提取、 數(shù)據(jù)繪圖、分析函數(shù)

●     在CV和IV測(cè)量之間快速切換而無需重新布線

●     提供靈活的夾具定制方案,兼容性強(qiáng)

●     免費(fèi)提供上位機(jī)軟件及SCPI指令集


應(yīng)用場(chǎng)景及測(cè)試參數(shù)

1、納米材料:電阻率、載流子遷移率、載流子濃度、霍爾電壓

2、柔性材料:拉伸/扭轉(zhuǎn)/彎折、V-t、I-t、R-t、電阻率、靈敏度

3、IC芯片:O/S、IIH/IIL、VOH/VOL、I/O Pin IV曲線

4、分立器件:BVDSS/IGSS/IDSS/Vgs(th)/Rdson、Ciss/Coss/Crss、輸出/轉(zhuǎn)移/CV曲線等

5、光電探測(cè)器:暗電流ID、結(jié)電容Ct、反向擊穿電壓VBR、響應(yīng)度R

6、鈣鈦礦電池:VOC、ISC、Pmax、Vmax、Imax、FF、η、Rs、Rsh

7、LD/LED/OLED:Iop、Popt、VF、Ith、VR、IR、LIV/IVL曲線

8、傳感器/憶阻器:V-t、I-t、R-t、直流/脈沖/交流IV測(cè)試


特色優(yōu)勢(shì)

1、模塊化配置:可靈活配置多種測(cè)量單元,預(yù)留升級(jí)空間,方便后期升級(jí)

2、圖形化界面:內(nèi)置常用器件模板,可直接調(diào)用,并且支持輸出三種模式測(cè)試報(bào)告

3、自動(dòng)化測(cè)試:內(nèi)嵌低漏電矩陣開關(guān),可自動(dòng)切換測(cè)試電路,實(shí)現(xiàn)一鍵測(cè)試功能

4、夾具可定制:支持二極管、三極管、Si及SiC MOS管、IGBT等器件

5、多設(shè)備聯(lián)動(dòng):可與探針臺(tái)、溫控模塊等搭配使用,溫控范圍:室溫~250℃

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加快半導(dǎo)體材料、芯片器件設(shè)計(jì)以及先進(jìn)工藝的開發(fā)驗(yàn)證

1、支持直流、脈沖I-V測(cè)試

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2、內(nèi)置專業(yè)矩陣開關(guān),提高測(cè)試效率

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3、可與多種設(shè)備聯(lián)動(dòng)使用:晶圓級(jí)芯片性能測(cè)試需要與探針臺(tái)聯(lián)動(dòng),可靠性評(píng)估會(huì)涉及常溫以及高低溫等條件

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4、三同軸線纜提升小電流測(cè)試精度

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圖形化軟件界面

配合普賽斯自主開發(fā)的專業(yè)測(cè)試軟件,SPA6100可輕松實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體材料,器件的參數(shù)測(cè)試。系統(tǒng)內(nèi)置常用器件模板,如二極管, 三極管,MOSFET。測(cè)試過程中,可直接調(diào)用,只需簡(jiǎn)單設(shè)置測(cè)試參數(shù)即可。軟件支持測(cè)試數(shù)據(jù)顯示,以及曲線繪制。測(cè)試完畢 后,可將數(shù)據(jù)以及曲線導(dǎo)出保存。

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靈活可定制化的夾具方案

針對(duì)市面上不同封裝類型的半導(dǎo)體器件產(chǎn)品,普賽斯提供整套夾具解決方案。夾具具有低阻抗、安裝簡(jiǎn)單、種類豐富等特點(diǎn),可 用于二極管、三極管、場(chǎng)效應(yīng)晶體管、IGBT、SiC MOS、GaN等單管,模組類產(chǎn)品的測(cè)試;也可與探針臺(tái)連接,實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)芯片 測(cè)試。


不同封裝類型的夾具

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產(chǎn)品選型

低壓直流I-V源測(cè)量單元

型號(hào)精度最大電壓量程最小電壓量程最小電壓分辨率最大電流量程最小電流量程最小電流分辨率
SPA-S1000.1%30V300mV30μV1A100nA10pA
SPA-S2000.1%100V300mV30μV1A100nA10pA
SPA-S3000.1%300V300mV30μV1A100nA10pA
SPA-S100B0.03%30V300mV30μV3A100nA10pA
SPA-S200B0.03%100V300mV30μV3A100nA10pA
SPA-S300B0.03%300V300mV30μV3A100nA10pA

低壓脈沖I-V源測(cè)量單元

型號(hào)精度最大電壓量程最小電壓量程最小電壓分辨率最大電流量程最小電流量程最小電流分辨率最小脈沖寬度
SPA-P1000.1%30V300mV30μV1A(直流)/10A(脈沖)100nA10pA200μs
SPA-P2000.1%100V300mV30μV1A(直流)/10A(脈沖)100nA10pA200μs
SPA-P3000.1%300V300mV30μV1A(直流)/10A(脈沖)100nA10pA200μs

高壓I-V源測(cè)量單元

型號(hào)精度最大電壓量程最小電壓量程最小電壓分辨率最大電流量程最小電流量程最小電流分辨率
SPA-E1000.1%1200V100V10mV100mA1μA100pA

高流I-V源測(cè)量單元

型號(hào)精度最大電壓量程最小電壓量程最小電壓分辨率最大電流量程最小電流量程最小電流分辨率最小脈沖寬度
SPA-HCP1000.1%50V300mV30μV30A(直流)/30A(脈沖)100nA10pA80μs
SPA-HCP2000.1%50V300mV30μV30A(直流)/30A(脈沖)100nA10pA80μs
SPA-HCP3000.1%100V300mV30μV30A(直流)/100A(脈沖)100nA10pA80μs

電容測(cè)量單元

型號(hào)測(cè)試頻率測(cè)試點(diǎn)數(shù)頻率分辨率頻率輸出精度基本精度內(nèi)部直流偏置信號(hào)可測(cè)參數(shù)與量程
SPA-C10010Hz-1MHz可編程5 位±0.1%±0.5%10mV to 2V (1mV 分辨率) / 100uA-20mA

|Z| , R, X   0.001mΩ-99.999MΩ

|Y| , G, B   0.1nS-99.999S

Cs Cp   0.01pF-9.9999F



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