何為氣體傳感器？

氣體傳感器是一種氣敏裝置，能將被測氣體濃度轉(zhuǎn)換為與其成一定關(guān)系的電量輸出的裝置或器件，廣泛應(yīng)用于智能家居、汽車電子、消費電子、可穿戴設(shè)備、醫(yī)療、工業(yè)過程、環(huán)境監(jiān)測等行業(yè)。

根據(jù)傳感器的氣敏材料以及氣敏材料與氣體相互作用的機理和效應(yīng)不同，主要可以分為半導(dǎo)體式、固體電解質(zhì)式、電化學(xué)式、接觸燃燒式、

光學(xué)式及熱導(dǎo)式等傳感器類型。今天我們來重點講講半導(dǎo)體氣體傳感器。

半導(dǎo)體氣體傳感器的種類有哪些?

按照半導(dǎo)體變化的物理特性，可分為電阻型和非電阻型。按照半導(dǎo)體與氣體相互作用時產(chǎn)生的變化只限于半導(dǎo)體表面或深入到半導(dǎo)體內(nèi)部，又可分為表面控制型和體控制型。

半導(dǎo)體氣體傳感器是如何感知氣體存在的?

半導(dǎo)體氣體傳感器是利用半導(dǎo)體氣敏元件和氣體接觸，造成氣敏元件本身的電導(dǎo)率發(fā)生變化這一機理來進行檢測的器件。電阻型半導(dǎo)體氣體傳感器是用金屬氫化物材料制作的敏感元件，利用其阻值的變化來檢測氣體的濃度。

氣敏電阻結(jié)構(gòu)示意圖

氣敏器件阻值-濃度關(guān)系

非電阻型半導(dǎo)體氣敏元件是利用其它參數(shù)，如二極管伏安特性和場效應(yīng)晶體管的閾值電壓變化來檢測被測氣體的。

非電阻型氣敏器件結(jié)構(gòu)示意圖

Pd-Ti口2二極管的l-V特性(25℃)

如何評判半導(dǎo)體氣體傳感器的性能?

在半導(dǎo)體氣體傳感器研究的早期階段，利用I-V特性分析技術(shù)，可以簡化半導(dǎo)體氣體傳感器的合格驗證。半導(dǎo)體氣體傳感器根據(jù)材料的不同，其阻值跨度大﹐覆蓋Ω~GΩ范圍。針對不同氣敏材料的半導(dǎo)體氣體傳感器進行測試，需要有高效的檢測方案。

普賽斯高精度數(shù)字源表

普賽斯自主研發(fā)的高精度數(shù)字源表，具備大動態(tài)范圍、高輸入阻抗等優(yōu)點?？筛采wΩ~GΩ不同阻值范圍的氣體傳感器測試需求，是氣體傳感器測試儀器的最佳選擇。如:

①實時測試多種材料在同一氣體條件下的電阻值反應(yīng)靈敏度

②在低電壓下進行高范圍跨度(Ω、KΩ、MΩ、GΩ)的電阻測量，測試設(shè)備輸入電阻要求高

③I-V曲線掃描

④支持≤40通遒氣敏電阻R/t特性測試，并可記錄存檔。

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