專注于半導(dǎo)體電性能測(cè)試
7月8日,2024慕尼黑上海電子展在上海新國(guó)際博覽中心開幕,本屆展會(huì)以新能源汽車、儲(chǔ)能、智能駕駛、衛(wèi)星通信、機(jī)器人、可穿戴、智能建筑、邊緣智能、智慧電源、第三代半導(dǎo)體等應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)槟甓葻衢T趨勢(shì),匯聚國(guó)內(nèi)外優(yōu)質(zhì)電子企業(yè),旨在打造從產(chǎn)品設(shè)計(jì)到應(yīng)用落地的橫跨產(chǎn)業(yè)上下游的專業(yè)展示平臺(tái)。普賽斯儀表攜半導(dǎo)體測(cè)試測(cè)量設(shè)備及測(cè)試解決方案亮相E7館 7162展位。
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為電子信息制造業(yè)高地,是經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展的戰(zhàn)略性、先導(dǎo)性和基礎(chǔ)性產(chǎn)業(yè), 涉及大量先進(jìn)科學(xué)技術(shù)。“碳達(dá)峰”、“碳中和”目標(biāo)也同時(shí)強(qiáng)調(diào)和指明了能源結(jié)構(gòu)調(diào)整方向,再次將節(jié)能減排、低碳經(jīng)濟(jì)推向高潮。以IGBT為代表的功率半導(dǎo)體是電力電子設(shè)備的核心器件,也是能源轉(zhuǎn)換與傳輸?shù)年P(guān)鍵。
在新能源汽車、光伏儲(chǔ)能、軌道交通、工業(yè)控制等領(lǐng)域,碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)等第三代半導(dǎo)體材料由于其具有高溫、高壓、高頻、抗輻射等特點(diǎn)備受青睞,可實(shí)現(xiàn)更高效的電子電力設(shè)備。然而,由于其上市應(yīng)用時(shí)間相對(duì)較短,潛在的缺陷尚未完全暴露,失效機(jī)制也尚未清晰。因此,通過科學(xué)的測(cè)試測(cè)量手段,對(duì)其進(jìn)行有效的評(píng)估和驗(yàn)證尤為重要。
通常,IGBT/SiC/GaN功率半導(dǎo)體器件特性測(cè)試分為靜態(tài)特性測(cè)試和動(dòng)態(tài)特性測(cè)試,靜態(tài)特性測(cè)試主要是表征器件本征特性指標(biāo),如擊穿電壓 V(BR)DSS、漏電流ICES/IDSS/IGES/IGSS、閾值電壓VGS(th)、跨導(dǎo)Gfs、壓降VF 、導(dǎo)通內(nèi)阻RDS(on)等;動(dòng)態(tài)特性測(cè)試是功率半導(dǎo)體器件的重要特性,如開通特性測(cè)試、關(guān)斷特性測(cè)試、FRD反向恢復(fù)特性測(cè)試、柵極電荷特性測(cè)試、短路特性測(cè)試、模塊電感特性測(cè)試、安全工作區(qū)SOA特性測(cè)試等,主要采用雙脈沖測(cè)試進(jìn)行。
深度融合
功率半導(dǎo)體電性能表征一站式解決方案
普賽斯儀表以核心源表為基礎(chǔ),聚焦功率半導(dǎo)體測(cè)試需求,從底層研發(fā)著手,大力推動(dòng)多維技術(shù)的融合創(chuàng)新,對(duì)核心技術(shù)攻堅(jiān)克難,展會(huì)現(xiàn)場(chǎng)展出了功率半導(dǎo)體靜態(tài)測(cè)試一體化解決方案。
PMST系列功率器件靜態(tài)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)
PMST系列功率器件靜態(tài)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)集多種測(cè)量和分析功能于一體,不僅提供IV、CV、跨導(dǎo)等多元化的測(cè)試功能,具備高電壓和大電流特性(10kV/6000A),以及μΩ級(jí)精確電阻測(cè)量和nA級(jí)漏電流測(cè)量能力,能夠全面滿足從基礎(chǔ)功率二極管、MOSFET、BJT、IGBT到寬禁帶半導(dǎo)體SiC、GaN等晶圓、芯片、器件及模塊的靜態(tài)參數(shù)表征和測(cè)試需求。核心關(guān)鍵儀表均自主研發(fā),憑借其優(yōu)異的性能、靈活的配置和易操作的用戶界面,成為眾多功率半導(dǎo)體廠家靜態(tài)參數(shù)測(cè)試的優(yōu)選工具。
SPA6100半導(dǎo)體參數(shù)分析儀
SPA6100半導(dǎo)體參數(shù)分析儀可以同時(shí)支持DC電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)以及高流高壓下脈沖式I-V特性的測(cè)試。產(chǎn)品支持最高1200V電壓、100A大電流、1pA小電流分辨率的測(cè)量,同時(shí)檢測(cè)10kHz至1MHz范圍內(nèi)的多頻AC電容測(cè)量。搭載專用半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試軟件,支持交互式手動(dòng)操作或結(jié)合探針臺(tái)的自動(dòng)操作,能夠從測(cè)量設(shè)置、執(zhí)行、結(jié)果分析到數(shù)據(jù)管理的整個(gè)過程,實(shí)現(xiàn)高效和可重復(fù)的器件表征;也可與高低溫箱、溫控模塊等搭配使用,滿足高低溫測(cè)試需求。
此外,為適應(yīng)各種功率器件封裝類型的需求,普賽斯儀表可提供多樣化、精細(xì)化、定制化的夾具解決方案,可覆蓋TO單管、半橋模組、三相半橋模組等產(chǎn)品的測(cè)試。
展會(huì)現(xiàn)場(chǎng),普賽斯儀表還展示了自主研發(fā)的核心源表系列(SMU)、脈沖恒流源 (FIMV)、高壓電源 (FIMV、FVMI)、數(shù)據(jù)采集卡等產(chǎn)品,以及從材料、晶圓到器件的半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈電性能測(cè)試解決方案,吸引了眾多業(yè)內(nèi)人士的關(guān)注。
結(jié)語(yǔ)
低碳化、智能化是整個(gè)電子信息產(chǎn)業(yè)的長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展目標(biāo),也是未來的主旋律,而實(shí)現(xiàn)目標(biāo)需要產(chǎn)業(yè)鏈的協(xié)同努力。可靠高效的測(cè)試設(shè)備,是半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展和進(jìn)步不可或缺的重要環(huán)節(jié)之一。
普賽斯儀表作為國(guó)內(nèi)首家成功實(shí)現(xiàn)高精密源/測(cè)量單元SMU產(chǎn)業(yè)化的企業(yè),具備多年的技術(shù)積累和創(chuàng)新成果,未來將始終堅(jiān)持創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)、持續(xù)加大研發(fā)投入,以更優(yōu)異的測(cè)試技術(shù)助力產(chǎn)業(yè)發(fā)展!